[实用新型]一种硅片清洗用花篮

摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗用花篮，涉及硅片承载装置技术领域。本实用新型包括前端板、后端板和两个花篮侧板，两个花篮侧板上端均向外倾斜，花篮侧板上等距离分布有若干隔片，相邻两隔片之间形成用于卡放硅片的卡槽，还包括用于取放硅片的承载盘；两个花篮侧板相对外侧面对称固定有支撑滑轨；两个支撑滑轨上卡接配合有提手。本实用新型通过两个承载盘分别放置到硅片清洗花篮上下两侧扣在硅片组上，整个硅片清洗花篮倒立硅片组落到上侧的承载盘上或下侧承载盘向上托起穿过硅片清洗花篮，将硅片组从硅片清洗花篮中整体取出，取放效率高。