[实用新型]一种蚀刻机台有效
| 申请号： | 202023133798.7 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN215404531U | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 顾叶锋;惠倩;俞李霞 | 申请（专利权）人： | 苏州普汇达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蚀刻机台，包括箱体和底座，所述箱体外部设有塑胶挡片,所述塑胶挡片通过螺丝钉固定安装在箱体外壁，所述箱体外壁设有进料口，所述进料口前端设有进料板，所述进料板固定安装在箱体外壁，所述箱体底部设有污水收集箱，所述污水收集箱一侧设有排水管，所述箱体内部设有伸缩杆，所述伸缩杆底部设有中空管，所述中空管一端贯穿箱体外壁与导管连接，所述中空管设有喷头，通过安装在箱体外部的终端控制器来控制箱体内部安装的伸缩杆，可以调节伸缩杆的高低使得安装在中空管上的喷头喷洒化学药剂的范围更为集中，不会应为喷头高度过高导致喷头中喷洒的化学药剂范围过大导致的化学药剂喷洒的不均匀导致原料蚀刻达不到所需的标准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 机台 | ||
【主权项】：
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