[实用新型]传输装置有效
| 申请号： | 202023154387.6 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN214398922U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 宋新丰 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种传输装置，用于半导体设备，包括主体、驱动组件、传动部件和多个用于承载待加工工件的承载部件，承载部件包括基准件和位于基准件上方的多个活动件，基准件与主体固定连接，多个活动件彼此间隔设置，且均与主体沿第一方向滑动连接；传动部件与主体沿第二方向滑动连接，其包括在第一方向上间隔设有多个斜面倾角不同的滑动斜面，滑动斜面和活动件一一对应设置且滑动配合；各滑动斜面和基准件间在第一方向上的距离越远，对应的斜面倾角越大；驱动组件与传动部件驱动连接，用于驱动传动部件沿第二方向滑动。本实用新型提供的传输装置能够提高各活动件移动距离的精度，从而使多个活动件之间的间距在调节后能够与设计间距相符。 | ||
| 搜索关键词： | 传输 装置 | ||
【主权项】：
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