[实用新型]一种溅射旋转靶材直线度检验装置

摘要

本实用新型公开了一种溅射旋转靶材直线度检验装置，涉及旋转靶材检测技术领域，为解决现有技术中的现有的旋转靶材为保障在使用过程中不会出现侧偏的情况，会对靶材进行直线度的检测，但传统的检测只能针对靶材表面的平整性进行测试，无法对靶材内部的材料均匀度进行检测的问题。所述水平检测台上方的一端设置有外圈固定夹台，且水平检测台上方的另一端设置有内圈固定夹台，所述外圈固定夹台和内圈固定夹台与水平检测台通过螺钉连接，所述外圈固定夹台与内圈固定夹台之间设置有水平电控轨道，且水平电控轨道有两个，所述水平电控轨道与水平检测台通过螺钉连接，且水平电控轨道的两端与外圈固定夹台和内圈固定夹台贴合连接。