[实用新型]一种基板清洁装置有效
| 申请号： | 202023165271.2 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN214321011U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 申屠江民;王连彬;祝宇;乔其爽 | 申请（专利权）人： | 浙江莱宝科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B3/08;B08B3/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321016 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基板清洁装置，包括清洗台、洗液槽、第一管道，所述清洗台上设有多条传动辊和至少一个清洗滚刷，所述第一管道前端连接洗液槽，末端设有喷淋机构，在平板清洗机前端对抛光后基板表面残余的抛光粉、凝胶残留进行有效地去除，提升原有的平板清洗能力，确保抛光基板表面清洁度满足后续镀膜要求和平板加工要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洁 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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