[实用新型]一种用于电子化学品的取样系统有效
| 申请号： | 202023169560.X | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN213749207U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 夏致远;金向华;张友圣;李刚;曹文权 | 申请（专利权）人： | 金宏气体电子材料（淮安）有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N1/10 | 分类号： | G01N1/10 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 223100 江苏省淮安市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于电子化学品的取样系统，包括依次连接的至少2个洁净空间，各个洁净空间均与抽真空系统连接；按照行进方向，各个洁净空间的洁净度逐渐增加；各个洁净空间之间设有连通通道，连通通道上设有启闭阀门；所述各个洁净空间均与惰性气体供应系统连接；还包括输送系统，以将取样瓶从各个洁净空间之间实现输送。本实用新型通过将生产系统和取样系统分开设置，从而不需要在工厂内设置庞大的洁净室，从而节约了土地和空间，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电子 化学品 取样 系统 | ||
【主权项】：
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