[实用新型]一种T型Slot光波导石墨烯表面等离子体调制器结构

摘要

本实用新型公开了一种T型Slot光波导石墨烯表面等离子体调制器结构，包括T型slot光波导结构、双层石墨烯和金属电极，T型slot光波导结构由基底层、条形金属波导和Slot纳米狭缝组成。Slot纳米狭缝的水平Slot纳米狭缝和竖直Slot纳米狭缝能分别实现对TE模式和TM模式的亚波长局域束缚，增强石墨烯与电磁场的相互作用，提高电光调制深度和调制速率。本实用新型通过优化T型slot光波导特征参数，同步调谐TE和TM模式损耗，从而完成偏振不敏感电光调制。双层石墨烯与金属电极接触，在外界偏置电压激励下实现对光调制器的开启和关闭。本实用新型将为偏振多样化集成器件及芯片的设计提供重要技术思路。