[实用新型]一种在线式镀膜均匀性调整机构有效
| 申请号： | 202023200386.0 | 申请日： | 2020-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN214271027U | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 刘旭 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 李传亮 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种在线式镀膜均匀性调整机构，属于镀膜设备领域，包括：调节组件，调节组件包括从外到内依次同轴设置的且能够相对旋转的若干个调节杆；若干个传动组件，传动组件的数量与调节杆的数量相同，若干个传动组件与若干个调节杆位于镀膜腔室内部的部分一一对应传动连接；挡板组件，与若干个传动组件传动连接，挡板组件包括若干个子挡板，子挡板的数量与传动组件的数量相同且一一对应，子挡板能够在调节杆和传动组件的带动下运动从而调节子挡板与设置于镀膜腔室内的固定挡板之间的开口范围。本申请提供的一种在线式镀膜均匀性调整机构具有结构简单、紧凑的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 镀膜 均匀 调整 机构 | ||
【主权项】：
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