[实用新型]一种防电子磁吸式晶控探头有效
| 申请号： | 202023206583.3 | 申请日： | 2020-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN214088654U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 李伟 | 申请（专利权）人： | 长沙元戎科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 石家庄领皓专利代理有限公司 13130 | 代理人： | 张杏珍 |
| 地址： | 410300 湖南省长沙市浏阳市经济技术*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及石英晶体膜厚控制器技术领域，提出了一种防电子磁吸式晶控探头，包括基座，晶振片卡座，设置在基座上，晶振片，设置在晶振片卡座上，磁源组件，设置在基座或晶振片卡座上，磁源组件用于在晶振片外侧产生磁场阻止电子落至晶振片上。通过上述技术方案，解决了现有技术中的晶控探头应用于磁控溅射设备稳定性差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 磁吸式晶控 探头 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长沙元戎科技有限责任公司，未经长沙元戎科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023206583.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种液态食用香精生产的专用搅拌装置
- 下一篇：一种阀门圆板尺寸自动测量装置
- 同类专利
- 专利分类
