[实用新型]一种集成射频、静电防护器件的火工品换能元

摘要

本实用新型公开了一种集成射频、静电防护器件的火工品换能元，至少包括衬底层以及在该衬底层上形成的外延层，在所述外延层中形成两个独立注入区以形成两个PN结；绝缘层设置在所述外延层上并在所述注入区上形成缺口；所述绝缘层上设置换能元并与所述注入区电气连接使两个PN结形成并联支路，所述换能元形成电极层以与外部电路相连接。本实用新型采取外延片结构，靠穿通击穿机理穿通击穿外延层，靠重掺杂衬底短路来实施旁路保护。由于采用不同的穿通保护机理，可以按照需求，向专业的外延片供应商定制所需要的外延片厚度和电阻率，来到达所需的保护电压，简化了对后续集成火工品制作对工艺参数的控制要求。