[实用新型]一种镀膜装置

摘要

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，具体涉及一种镀膜装置。镀膜装置包括载板以及辅助部件，载板上开设有凹槽，辅助部件位于凹槽内，辅助部件与凹槽的内壁之间形成一用于放置基片的镀膜空间，且镀膜空间与基片的形状相适配。上述镀膜装置，辅助部件与凹槽的内壁之间形成一与基片的形状相适配的镀膜空间，不仅完整基片在镀膜时的边沿色差有所改善，而且非标准基片在镀膜时的边沿色差也有所改善，只需通过设置在凹槽内的辅助部件，由于辅助部件与凹槽的内壁之间形成合适的镀膜空间，如此，淀积氮化硅的边沿效益只会出现在辅助部件上，而不会影响基片，从而避免氮化硅的堆积对等离子场淀积到基片表面的影响，有效改善在镀膜过程中边沿色差的问题。