[实用新型]一种压力传感器有效
申请号: | 202023232958.3 | 申请日: | 2020-12-28 |
公开(公告)号: | CN214010598U | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 王小平;曹万;吴林 | 申请(专利权)人: | 武汉飞恩微电子有限公司 |
主分类号: | G01L1/16 | 分类号: | G01L1/16;G01L9/08;G01L19/00 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 胡海国 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型公开一种压力传感器,包括承载基板、弹性膜组件以及压力芯片;所述承载基板形成有一开口朝上的安装腔,所述安装腔的底壁开设有安装槽;所述弹性膜组件安装至所述安装腔的开口处,呈遮蔽所述安装腔的开口设置,所述弹性膜组件与所述安装腔之间共同形成一探测腔,所述弹性膜组件沿所述安装腔的深度方向具有弹性形变;所述压力芯片粘接在所述安装槽的底壁。本实用新型的技术方案中,在所述安装腔的底壁开设有安装槽,将压力芯片安装在安装槽内,在压力芯片通过粘接胶水粘接至承载基板上时,粘接胶水由于受到安装槽的槽壁的止挡,避免粘接时到处溢出导致粘接不均匀。 | ||
搜索关键词: | 一种 压力传感器 | ||
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