[实用新型]一种在线式甩干干燥装置有效
| 申请号： | 202023241945.2 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214426341U | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 张素明;李德保 | 申请（专利权）人： | 无锡琨圣智能装备股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/04 | 分类号： | F26B11/04;F26B21/00;F26B25/16;F26B25/18;F26B5/08;H01L21/67 |
| 代理公司： | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 吴忠义 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种在线式甩干干燥装置，包括槽体，所述槽体内腔设有旋转花篮，承载盒置于所述旋转花篮内，所述旋转花篮的一端与旋转驱动部件连接，气电滑环与所述旋转驱动部件连接，所述承载盒的一侧设有挡片机构，另一侧设有翻板压紧机构，所述槽体内腔靠近所述翻板压紧机构处还设有平板风道；减少硅片或晶圆的污染,减少硅片或晶圆的水纹印，减少或避免水痕片,降低设备能耗、节省能源,无易挥发的有机物排放，绿色环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 式甩干 干燥 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡琨圣智能装备股份有限公司，未经无锡琨圣智能装备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023241945.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种LED灯机械键盘开关
- 下一篇：光学模切机用限位辅助装置
