[实用新型]一种长晶炉有效
| 申请号： | 202023248148.7 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN214193430U | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 马振华;史建伟;杨洋 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56;C23C14/54;C30B23/00 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 陈曦 |
| 地址： | 250118 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种长晶炉，其包括：炉体；高真空泵，高真空泵的进气口通过第一真空管路与炉体相连，高真空泵选自分子泵、离子泵或扩散泵中的一种；干式真空泵，干式真空泵的进气口通过第二真空管路与高真空泵的出气口相连，第一真空管路的侧壁设置第一开口，第二真空管路的侧壁设置第二开口，第一开口和第二开口之间设有第三真空管路，第一开口与高真空泵的进气口之间的第一真空管路上设有第一阀门，第二开口与高真空泵的出气口之间的第二真空管路上设有第二阀门，第三真空管路上设有第三阀门。该长晶炉可以避免真空管路及炉体内部受到油污污染，从而避免制备的半导体晶体被污染，有效提高了晶体纯度，减少了晶体上微管的数量，保证了晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 长晶炉 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东天岳先进科技股份有限公司，未经山东天岳先进科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023248148.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便于安装的变压器装置
- 下一篇：试纸条自动装盒机
- 同类专利
- 专利分类
