[实用新型]一种石英舟用硅片整形及齿槽清理装置有效

专利信息
申请号: 202023249407.8 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN214588752U 公开(公告)日: 2021-11-02
发明(设计)人: 吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;邓大桥 申请(专利权)人: 罗博特科智能科技股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B5/02
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 许燕萍
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种石英舟用硅片整形及齿槽清理装置,其包括机架,机架上设有:硅片整形机构,包括整形件和驱动组件,驱动组件与整形件连接,整形件上设有与硅片配合的整形齿槽,驱动组件可驱动整形件,利用整形齿槽对石英舟硅片齿槽内的硅片进行整形;齿槽清理机构,包括吹风管和吹风设备,吹风管设有吹风孔,吹风设备可在石英舟硅片齿槽内的硅片被取走后向吹风管吹风,吹风管内的风由吹风孔吹至石英舟硅片齿槽内。本实用新型的石英舟用硅片整形及齿槽清理装置结构合理,可以在硅片被吸走前对其进行整形,方便吸盘进行吸附操作,并在硅片被吸走后对硅片齿槽进行清理,清理掉硅片齿槽内的碎片,保证石英舟的正常作业。
搜索关键词: 一种 石英 硅片 整形 清理 装置
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