[实用新型]一种用于判定直拉硅单晶位错的装置有效
| 申请号： | 202023249599.2 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214655359U | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 王万华;李英涛;王凯磊;皮小争;姜舰;崔彬;吴志强 | 申请（专利权）人： | 有研半导体硅材料股份公司;山东有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/26 | 分类号： | C30B15/26;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于判定直拉硅单晶位错的装置。该装置包括CCD相机，该CCD相机通过固定支架固定在单晶炉副室炉筒侧壁上的观察窗，并通过数据线连接电脑；该CCD相机正对单晶炉副室炉筒内的硅单晶表面，并将采集到的硅单晶表面的图像传输到电脑，经电脑对图像进行分析确定滑移线的位置。采用本实用新型的装置来判定单晶位错，炉室单晶不存在因外力作用产生的划痕，不会对滑移线的判断造成干扰；并且该装置在线判定滑移线的位置，判断精确且效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 判定 直拉硅单晶位错 装置 | ||
【主权项】：
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