[实用新型]一种磁控溅射流化床梯度复合合金粉体装置有效
| 申请号： | 202023257264.5 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214361650U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 王贵宗;郭俊恺 | 申请（专利权）人： | 江苏智仁景行新材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;B22F1/02 |
| 代理公司： | 南京源古知识产权代理事务所(普通合伙) 32300 | 代理人： | 马晓辉 |
| 地址： | 210001 江苏省南京市秦淮区永智路5号南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于流化包覆领域，现有流化包覆技术采用喷雾工艺，包覆均匀性差，工艺复杂，成本较高，很难实现粉体和陶瓷等非金属耐高温材料的复合。本发明提供了一种磁控溅射流化床梯度复合合金粉体装置包括流化床，流化床内的上方设有磁控溅射模块，流化床的一侧设有第一对流溅射靶材气相源入口，另一侧设有第二对流溅射靶材气相源入口，第一对流溅射靶材气相源入口和第二对流溅射靶材气相源入口相对流化床的中轴线对称布置，粉体输送口设置在流化床的下方。本实用新型提供的磁控溅射流化床梯度复合合金粉体装置利用磁控溅射镀膜技术，将包覆材料作为溅射靶，实现对金属粉体的均匀包覆，改变核壳结构及梯度结构，达到提升金属粉体性能的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 流化床 梯度 复合 合金粉 装置 | ||
【主权项】：
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