[实用新型]一种硅片退火用碳化硅舟

摘要

本实用新型涉及一种硅片退火用碳化硅舟，所属硅片退火加工设备技术领域，包括底板，所述的底板上端设有若干呈等间距环形分布且与底板相贯穿式插嵌固定的柱体，所述的柱体上端设有与底板相平行设置的顶板，所述的顶板与柱体相螺纹式插嵌连接固定，所述的底板下端设有若干呈等间距环形分布且与柱体相管路连通的进气管，所述的柱体内设有与进气管相连通的主气道，所述的主气道侧边设有若干呈等间距垂直分布的卡槽。具有结构紧凑简单、运行稳定性好和使用寿命长的特点。解决了硅片与碳化硅舟接触时产生金属污染的问题。提高硅片的性能稳定性和硅片的质量。