[实用新型]一种可调节推力的晶圆推片器治具

摘要

本实用新型提供一种可调节推力的晶圆推片器治具，包括治具平台、设置在治具平台上的晶圆匣和晶圆推送机构；所述晶圆推送机构包括推送组件和扫描检测组件，所述推送组件包括推送部，所述推送部对应所述晶圆匣的中部，所述推送部上还设有压力传感器，所述压力传感器电连接有控制器，所述扫描检测组件包括检测所述晶圆匣中晶圆数量的检测传感器，所述检测传感器电连接所述控制器。本实用新型使用方便，能够在晶圆推送之前检测晶圆的数量，并根据晶圆的数量进行调节推力，进而推动晶圆，避免推力过大损坏晶圆或推力不够的情况，提高了生产安全性，避免损坏晶圆而造成作业事故。