[实用新型]一种惰性气体分离处理装置有效
| 申请号： | 202023261563.6 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214287472U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 秦国庆 | 申请（专利权）人： | 江苏安瑞森电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/26 | 分类号： | B01D53/26;B01D46/00;B01D53/02;B01D53/00;B01D53/22;B01D50/00;C01B23/00 |
| 代理公司： | 合肥华利知识产权代理事务所(普通合伙) 34170 | 代理人： | 蒋玉娇 |
| 地址： | 215600 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种惰性气体分离处理装置，包括废气储存罐，所述废气储存罐一侧设有加热干燥器，所述加热干燥器一侧设有初级过滤系统，所述初级过滤系统一侧设有第一缓冲气罐，所述第一缓冲气罐一侧设有低压高温加热器，所述低压高温加热器一侧设有分子筛吸附泵。本实用新型通过设有加热干燥器把废气中水汽除去，设有初级过滤系统把颗粒杂质除去，分子筛吸附泵把废气中惰性气体氩和活性气体除去，钛升华泵将废气中剩余活性气体除去，制冷机把废气中除氦气以外的惰性气体凝结成晶体，然后通过晶体过滤器过滤分离，之后通过分子膜过滤器过滤极少数的杂质气体分子，本装置可以使氦气废气中氦气回收利用，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 惰性气体 分离 处理 装置 | ||
【主权项】：
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