[实用新型]一种用于粉末烧结的振动填充夹具有效

专利信息
申请号: 202023262456.5 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN214065728U 公开(公告)日: 2021-08-27
发明(设计)人: 大岩一彦;姚科科;广田二郎;中村晃;林智行;山田浩 申请(专利权)人: 浙江最成半导体科技有限公司
主分类号: F27B21/10 分类号: F27B21/10;F27B21/08
代理公司: 宁波高新区永创智诚专利代理事务所(普通合伙) 33264 代理人: 付帅
地址: 312035 浙江省绍兴市越城区皋埠*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种用于粉末烧结的振动填充夹具,涉及半导体靶材粉末烧结技术领域,包括:烧结夹具、以及用于放置烧结夹具的振动台;烧结夹具内部填充有烧结粉末;振动台可将烧结粉末均匀填充在烧结夹具内,烧结夹具包括夹具本体、以及用于压紧夹具本体内烧结粉末的上夹板;本实用新型的用于粉末烧结的振动填充夹具通过振动台的设置,能够在短时间内均匀地实现烧结粉末的填充工作,烧结粉末填充工作时间从原来的人工工作1小时减少到现在的15分钟,并且填充的更加均匀,有效的降低了烧结体出现破裂的情况;并且,还能根据烧结粉末的类型和粉末颗粒大小,调节合适的振动频率和振动时间,具有更好的通用性。
搜索关键词: 一种 用于 粉末 烧结 振动 填充 夹具
【主权项】:
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