[实用新型]基于衍射光栅列阵的窄线宽外腔半导体激光线阵

摘要

本实用新型公开了基于衍射光栅列阵的窄线宽外腔半导体激光线阵，包括半导体激光线阵，所述半导体激光线阵由增益波导、快轴准直镜和波导光栅组成，沿半导体激光线阵激光输出方向依次设有小透镜、半波片、大透镜、衍射光栅列阵，小透镜距离半导体激光线阵的距离为小透镜的焦距f1，小透镜和大透镜共焦点放置组成倒置望远系统，大透镜距离衍射光栅列阵为大透镜的焦距f2，半波片位于小透镜与大透镜焦点处，衍射光栅列阵由不同旋转角度的衍射光栅单元胶合而成，每个衍射光栅单元均为利特罗结构放置，本实用新型减小整体光谱线宽，同时简化光路结构，提高器件稳定性。