[实用新型]一种碳纤维微波等离子体热处理设备

摘要

本实用新型公开了一种碳纤维微波等离子体热处理设备，包括有微波源系统、同轴石英反应器及冷却系统。所述的微波源系统通过馈入结构将特定频率和模式的微波能量馈入指定反应区域并激发工作气体产生等离子体，碳纤维通过微波等离子体区域被加热从而完成碳化和石墨化过程。本实用新型避免了传统加热方法整体加热炉体所造成的能源浪费，同时等离子区域的温度调控简单、反应快、应用场景灵活，可同时满足碳纤维生产中碳化、石墨化、硼化等多个热处理过程。具有工艺简单、生产成本低、能耗低、升温速率快等优点，保障了材料的综合性能，提升了碳纤维的均一性、一致性和力学性能。