[实用新型]测试装置有效
| 申请号： | 202023280109.5 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214225311U | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 陈旭光;白文;徐虎 | 申请（专利权）人： | 徐州芯思杰半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/01 | 分类号： | G01R31/01 |
| 代理公司： | 深圳智汇远见知识产权代理有限公司 44481 | 代理人： | 艾青;刘洁 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及半导体器件光学检测技术领域，具体涉及一种测试装置。测试装置包括工作台以及测试机构，工作台具有用于放置阵列的多个待测试产品的台面，测试机构位于工作台的上方，并能够分别在第一方向和第二方向上相对台面往复移动，第一方向和第二方向均平行于台面，测试机构包括沿第一方向并排设置的第一检测件及第二检测件，测试机构包括两个第一检测件，两个第一检测件分别位于第二检测件的两侧。测试时，使测试机构沿第一方向移动，在前的一个第一检测件工作，然后测试机构沿第二方向移动换行后再沿与第一方向相反的方向移动，此时，另一个第一检测件工作，有效缩短了测试机构移动的距离，减少了测试时间，提高了测试速度，测试效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 装置 | ||
【主权项】：
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