[实用新型]一种上部电极表面研磨用定位工装有效
| 申请号： | 202023280609.9 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214080876U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 蔡广云;王超群;冯卫东;刘培培 | 申请（专利权）人： | 合肥微睿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B55/00 |
| 代理公司： | 合肥超通知识产权代理事务所(普通合伙) 34136 | 代理人： | 饶晓玲 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种上部电极表面研磨用定位工装，包括有上部电极本体、内、外环形接触部位、第一内、外定位块和第二内、外定位块，第一内、外定位块分别对应与内、外环形接触部位的非拐角位置相对应，且第一内、外定位块上分别设有对应与内、外环形接触部位的非拐角位置相重合的第一定位狭缝；第二内、外定位块分别对应与内、外环形接触部位的拐角位置相对应，且第二内、外定位块上分别设有对应与内、外环形接触部位的拐角位置相重合的第二定位狭缝。本实用新型结构简单，实现了对内、外环形接触部位的准确定位，能够准确的确定研磨范围和位置，杜绝了不良品的产生，提高了加工效率，缩短了工时，满足了使用端客户的周期需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 上部 电极 表面 研磨 定位 工装 | ||
【主权项】：
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