[实用新型]一种用于气相沉积炉的清理装置密封机构

摘要

本实用新型公开了一种用于气相沉积炉的清理装置密封机构，涉及气相沉积炉技术领域。该用于气相沉积炉的清理装置密封机构，包括清理装置杆，所述清理装置杆的外表面套设有两个盘根，两个所述盘根之间形成氮气保护室，所述清理装置杆的外表面靠近盘根的下方设置有清扫刷。该用于气相沉积炉的清理装置密封机构，采用两道石墨盘根密封，中间位置采用惰性气体保护，使整个密封机构的气体压力大于气相沉积炉内的压力，下面安装了耐高温、耐磨的特种钢丝刷，可以有效的清理杆上附着的碳微球，延长盘根的使用寿命提高密封性能，清理装置杆采用镀铬处理，增加耐磨强度和表面光滑度，减少金属对碳微球产品的污染。