[实用新型]一种蓝宝石单晶炉波纹管位移装置有效
申请号: | 202023302102.9 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN214736214U | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 陈宏;郝贵荣;张国威;杜晶;梁浩;李庆 | 申请(专利权)人: | 山西中聚晶科半导体有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 030060 山西省晋中市榆次*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本实用新型一种蓝宝石单晶炉波纹管位移装置,属于蓝宝石长晶技术领域;本装置包括支撑座、第一支撑杆、第二支撑杆、弧型支撑部和第一螺栓,第一螺栓与支撑座可旋转地连接,第一螺栓与第一支撑杆的一端枢接,第一支撑杆的另一端与第二支撑杆的一端枢接,第二支撑杆的另一端与弧型支撑部枢接,弧型支撑部用于对波纹管进行夹持,使位于波纹管内部的籽晶杆朝一个方向倾斜。本装置能够对波纹管内的籽晶杆进行推移,从而使蓝宝石晶锭脱离坩埚,以保证晶体的热应力充分释放。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 单晶炉 波纹管 位移 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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