[实用新型]一种洁净式半导体通风柜有效
| 申请号： | 202023311035.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214813483U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 张玉勤;刘国斌;李玲 | 申请（专利权）人： | 苏州瑞莱博实验室工程有限公司 |
| 主分类号： | B08B15/02 | 分类号： | B08B15/02 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 薛芳芳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种洁净式半导体通风柜，所述主体的上端外表面设置有Hepa装置，所述Hepa装置的后端外表面设置有后方排风口，所述主体的下端外表面设置有柜体，所述柜体的下端外表面设置有脚轮，所述柜体的内壁一侧设置有承漏盘，所述柜体的前端外表面设置有合页，所述合页的一侧设置有门把手，所述门把手的下端外表面设置有通风口，通过设置的后方排风口，可以连接相对应的排风管，使得主体内部的有害空气有特定路径排出，并且通过浓酸废液槽以及HF废液槽将有害液体隔开避免混合污染，而且通过通风口使得柜体内部的空气得以流通，避免柜体内部持续产生有害气体，本实用新型能让柜内空间达到百级洁净度，带来更好的使用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 洁净 半导体 通风 | ||
【主权项】：
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