[实用新型]一种曝光机自动赶气装置有效
申请号: | 202023316025.2 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN213814296U | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 袁强;刘长征 | 申请(专利权)人: | 广东海圣科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 广东合方知识产权代理有限公司 44561 | 代理人: | 梁洪文 |
地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种曝光机自动赶气装置,包括曝光机本体以及开设有在曝光机本体内的固定腔,所述曝光机本体顶部开设有与固定腔连通的第一螺纹孔,所述第一螺纹孔内侧壁螺纹连接有螺纹放置柱,所述螺纹放置柱外侧壁开设有多个放置槽,所述固定腔内设有让螺纹放置柱升降的升降装置,所述第一螺纹孔内侧壁开设有环形螺纹槽,所述螺纹放置柱顶部固定连接有螺纹密封盖。本实用新型,在固定腔、第一螺纹孔、螺纹放置柱、放置槽、螺纹密封盖、密封圈和升降装置的相互配合下,通过将产品放在放置槽内,再让升降装置将产品送入固定腔内,再配合密封圈增加固定腔的密封性,这样在固定腔抽真空时,让固定腔的密封性更好,提高了产品的质量。 | ||
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