[实用新型]一种新型真空镀膜公自转回转机构有效
| 申请号： | 202023321070.7 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN215560632U | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 王伟平;王金泉;王菊姿 | 申请（专利权）人： | 莱糸真空科技（常州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人： | 李丹 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型真空镀膜公自转回转机构，涉及真空镀膜设备技术领域，为解决现有的公自转回转机构存在局限性，工件在夹持固定时不能随意调节位置，对镀膜操作存在影响的问题。所述真空壳体的内部底端外表面上旋转安装有旋转壳体，所述真空壳体上端外表面的中轴位置处固定安装有交流电机，所述交流电机的旋转轴一端固定连接有传动轴，所述传动轴贯穿于旋转壳体内部中轴位置处，所述传动轴的一端固定安装有第一传动齿轮，所述真空壳体内部底端外表面上旋转安装有第一从动齿轮，所述第一从动齿轮与第一传动齿轮啮合连接，所述旋转壳体的内壁上固定连接有传动齿。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 真空镀膜 自转 回转 机构 | ||
【主权项】：
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