[实用新型]一种喷淋架以及蚀刻系统有效
| 申请号： | 202023329184.6 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214177659U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 贺海龙 | 申请（专利权）人： | 深圳市轩宇飞龙机械设备有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/06 | 分类号： | H05K3/06;H05K3/00 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 郭雨桐 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于蚀刻技术设备领域，尤其涉及一种喷淋架以及蚀刻系统。喷淋架包括框体结构、管道结构和连接结构。框体结构包括多个侧板，各侧板首尾相连并合围成安置框，安置框的内壁开设有两定位槽，两定位槽分别位于两正对设置的两侧板。管道结构包括喷淋管，喷淋管开设有喷淋流道、供液体流入喷淋流道的进液口以及供液体流出喷淋流道的出液口，喷淋管的两端分别滑动设置于两定位槽。连接结构包括连接螺栓，连接螺栓设置有两个，且两连接螺栓分别将喷淋管的两端可拆卸地连接两侧板。本实用新型可以实现喷淋管与两定位槽的脱离，进而可以对喷淋管进行更换或清洗，且无需更换整个喷淋架，不但便于拆装而且降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷淋 以及 蚀刻 系统 | ||
【主权项】：
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