[实用新型]交直流兼容输入供电高压发生器装置

摘要

本实用新型提供了一种交直流兼容输入供电高压发生器装置，包括：主电源、软启动电路部件、整流电路部件、高压倍增电路部件、逆变电路部件、检测放电电路部件以及控制电路部件；所述主电源与软启动电路部件相连；所述软启动电路部件与整流电路部件相连；所述高压倍增电路部件与逆变电路部件相连；所述检测放电电路部件与整流电路部件、逆变电路部件分别相连；所述检测放电电路部件与控制电路部件相连。本实用新型通过采用将高频高压发生器主电源电路三相整流桥直流母线引出，解决了其直接将直流电通入整流桥导通二极管的减少带来的电流容量不足以支撑后端大功率曝光的问题。