[实用新型]一种带环激光光刻管

摘要

本实用新型公开了一种带环激光光刻管，包括依次套装相连的外管、水冷管和放电管，外管与水冷管之间形成气体腔，水冷管与放电管之间形成冷却腔，放电管内部设置有激光发生通道，激光发生通道的内壁上等间距设置有光刻环，光刻环的宽度为0.5‑1mm，均匀分布的光刻环能够起到聚光效果；放电管上套设有石墨套，石墨套具有耐高温性，而且热膨胀系数小、导热性好，石墨套配合上支撑架对放电管进行支撑固定，使放电管射出的激光更加稳定；扩大管内可以容纳更多的冷却水，从而使放电管得到更快的冷却，玻璃支撑柱的设置使扩大管更加牢固，不易炸裂。