[外观设计]液体喷射喷嘴的部件有效
| 申请号： | 202030057043.X | 申请日： | 2020-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN306605033S | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 天野嘉文;相浦一博 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | 23-01 | 分类号： | 23-01 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1.本外观设计产品的名称：液体喷射喷嘴的部件。2.本外观设计产品的用途：本产品是在基板处理装置中使用的液体喷射喷嘴的部件，该基板处理装置在半导体装置等的制造工序中向半导体晶片等基板供给处理液，从而进行蚀刻等规定的基板处理。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.在主视参考图的左侧嵌入了防止处理液泄漏的环。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 喷射 喷嘴 部件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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