[发明专利]用于工件加工的感应耦合等离子体中的增强点火在审
| 申请号： | 202080004312.3 | 申请日： | 2020-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN112703577A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | S·E·萨瓦;马绍铭 | 申请（专利权）人： | 玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人： | 郗名悦;闫茂娟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种等离子体处理设备和相关方法。在一个示例中，等离子体处理设备包括等离子体腔室。所述等离子体处理设备包括形成所述等离子体腔室的至少一部分的介电壁。所述等离子体处理设备包括位于所述介电壁附近的感应耦合元件。所述等离子体处理设备包括紫外光源，该紫外光源被配置用于将紫外光束发射到面对所述等离子体腔室的内部容积的金属表面上。所述等离子体处理设备包括被配置用于控制所述紫外光源的控制器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 工件 加工 感应 耦合 等离子体 中的 增强 点火 | ||
【主权项】：
暂无信息
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