[发明专利]一种晶体生长方法和装置有效
申请号: | 202080004445.0 | 申请日: | 2020-04-14 |
公开(公告)号: | CN112585304B | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 王宇;杨田;梁振兴;李敏 | 申请(专利权)人: | 眉山博雅新材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00 |
代理公司: | 成都七星天知识产权代理有限公司 51253 | 代理人: | 袁春晓 |
地址: | 620010 四川省眉*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请实施例公开了晶体生长方法及装置。所述晶体生长方法包括:将籽晶和目标源材料置于晶体生长装置的生长腔体中;基于所述籽晶和所述目标源材料,通过物理气相传输法生长晶体;在晶体生长过程中,判断是否满足预设条件;以及当满足预设条件时,将升华后的目标源材料替换为备选源材料。本申请通过以备选源材料替换升华后的目标源材料,可以生长得到大尺寸、高质量的晶体。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 方法 装置 | ||
【主权项】:
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