[发明专利]打线失败检查系统、打线失败检测装置以及打线失败检测方法在审
| 申请号： | 202080005972.3 | 申请日： | 2020-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN112997307A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 麦可·柯比;金城隆也;宗像広志 | 申请（专利权）人： | 株式会社新川 |
| 主分类号： | H01L25/065 | 分类号： | H01L25/065;H01L25/07;H01L25/18;H01L21/60;H01L21/607 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本东京武藏村*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 半导体装置(10)的打线失败检查系统(100)包括超声波振荡器(40)、超声波振子(42)、照相机(45)、显示器(48)以及控制部(50)，控制部(50)算出所拍摄的动态图像的一个帧与其以前的前帧的图像的差量，使差量超过规定的阈值的打线的图像显示与其他打线的图像显示不同并显示于显示器。 | ||
| 搜索关键词： | 失败 检查 系统 检测 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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