[发明专利]用于磨削背面的胶粘片及半导体晶片的制造方法有效
申请号: | 202080006585.1 | 申请日: | 2020-02-21 |
公开(公告)号: | CN113165136B | 公开(公告)日: | 2023-06-13 |
发明(设计)人: | 卡尔·海因茨·普利瓦西尔;津久井友也;金井朋之;齐籐岳史 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科;电化株式会社 |
主分类号: | B24B7/22 | 分类号: | B24B7/22;C09J201/00;B24B37/30;B24B41/06;H01L21/304;H01L21/683;C09J7/22;C09J7/29 |
代理公司: | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人: | 龚敏;王刚 |
地址: | 日本国东京都大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 根据本发明,提供一种用于磨削具有凸部的半导体晶片的背面的胶粘片,其具备非粘合性的垫层以及设于上述垫层上的粘合剂层,在上述半导体晶片粘贴于上述粘合剂层的状态下,上述凸部被上述垫层保护的方式构成,满足以下条件(1)~(2)中至少一项:(1)上述垫层是根据JIS Z 1702使用哑铃冲模,构成为以标记线之间距离40mm、拉伸速度300mm/min拉长25%时的拉伸应力为2~30N/10mm;(2)上述垫层由熔体流动速率(JIS K 7210、125℃/10.0kg荷重)为0.2~30g/10min、熔点为60~110℃的热塑性树脂构成。 | ||
搜索关键词: | 用于 磨削 背面 胶粘 半导体 晶片 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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