[发明专利]感光化射线性或感放射线性树脂组合物、抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法有效
| 申请号： | 202080006761.1 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN113166312B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 金子明弘;小岛雅史;上村稔;后藤研由;白川三千纮 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | C08F20/10 | 分类号： | C08F20/10;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够形成分辨率优异且LWR性能优异的图案的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。并且，提供一种使用了上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的抗蚀剂膜及图案形成方法、以及使用了上述图案形成方法的电子器件的制造方法。感光化射线性或感放射线性树脂组合物包含树脂以及通过光化射线或放射线的照射而产生酸的化合物，其中，由式(1)求出的A值为0.130以上，且通过上述光化射线或放射线的照射而产生酸的化合物包含选自由化合物(I)～化合物(III)组成的组中的1种以上。 | ||
| 搜索关键词： | 感光 射线 放射 线性 树脂 组合 抗蚀剂膜 图案 形成 方法 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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