[发明专利]波导与光检测设备上的光学耦合结构的集成

摘要

本文提供了一种装置的各种示例、包括该装置的这些示例的流通池，以及制造该装置的这些示例的方法。该装置可包括位于基板上方并且覆盖光检测设备的侧面的模制层。该模制层包括第一区域和第二区域，该第一区域和该第二区域与该光检测设备的有效表面一起形成邻接表面。波导集成层位于该邻接表面与波导之间。该波导集成层包括第一区域和第二区域上方的光学耦合结构，以将来自光源的光波光学地耦合到该波导。该波导利用该光波来激发纳米孔中的光敏材料。该波导上方的纳米结构层包括该纳米孔。每个纳米孔与该光检测设备的该有效表面上的位置共享竖直轴线。