[发明专利]通过相消干涉抑制至少一个目标波长的光学衍射元件

摘要

一种用于通过相消干涉抑制至少一个目标波长的光学衍射元件(60)。该光学衍射元件(60)具有至少三个衍射结构层级(N1、N2、N3、N4)。所述衍射结构层级(N1、N2、N3、N4)可指配给至少两个衍射结构群组。所述衍射结构群组中的第一个(35)用于抑制第一目标波长λ1。所述衍射结构群组中的第二个用于抑制第二目标波长λ2。对所述两个目标波长λ1和λ2而言以下成立：(λ1‑λ2)2/(λ1+λ2)220％。所述衍射结构层级(N1至N4)的形貌可描述为两个二元衍射结构群组的叠加。所述二元衍射结构群组中的每一个的相邻表面区段之间的边界区域(N3/N1、N2/N4、N4/N3、N1/N2)均具有线性路程，并至多沿着该线性路程的各区段彼此叠加。在该光学衍射元件的一个变型中，所述衍射结构的布置使得红外波长范围内的第一目标波长λ1附近的一波长范围(该第一目标波长被一周期性光栅结构轮廓衍射)具有辐射分量，其具有彼此相消干涉的至少三个不同相位。所述衍射结构层级具有中性衍射结构层级、正衍射结构层级及负衍射结构层级。结果是其特别是针对杂散光抑制的使用可能性扩展的光学衍射元件。