[发明专利]靶材的清洗方法、靶材的制造方法以及循环铸块的制造方法有效
| 申请号： | 202080009480.1 | 申请日： | 2020-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN113316659B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 西冈宏司;塚田洋行;德永真喜 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B24C1/10;B24C5/02;B24C11/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 李文屿 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的课题在于提供靶材的清洗方法、用该清洗方法处理的靶材的制造方法、及将通过该方法得到的靶材作为原料的循环铸块的制造方法，所述靶材的清洗方法能够通过喷砂处理从使用过的靶材简便且充分地去除来源于构成接合层的接合材料及支承部件的杂质。本发明中的靶材的清洗方法是清洗从溅射靶分离出的靶材的方法，所述溅射靶将靶材与支承部件用接合材料接合而构成，所述靶材的清洗方法包括：对于所述靶材中的、所述靶材与所述支承部件接合而成的第1面喷射新莫氏硬度为3以上且体积比重为2g/cm |
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| 搜索关键词： | 清洗 方法 制造 以及 循环 | ||
【主权项】：
暂无信息
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