[发明专利]振动发电元件以及振动发电元件的制造方法在审
| 申请号： | 202080009824.9 | 申请日： | 2020-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN113316891A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 芦泽久幸;三屋裕幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社鹭宫制作所 |
| 主分类号： | H02N1/00 | 分类号： | H02N1/00;B81B3/00;B81C1/00;H01G7/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金成哲;郑毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 对隔着绝缘层而设有第一Si层和第二Si层的基板进行加工而形成的振动发电元件具备：固定电极，其形成于上述第一Si层；以及可动电极，其形成于上述第二Si层，并隔着形成于上述绝缘层的缝隙空间而与上述固定电极对置，且相对于上述固定电极进行相对移动。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 发电 元件 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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