[发明专利]衍射光学元件、使用了该衍射光学元件的投影装置及计测装置有效
| 申请号： | 202080010401.9 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN113330339B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 米原健矢;村上亮太;田岛宏一;小野健介 | 申请（专利权）人： | AGC株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G01S7/481 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 实现遍及宽视场角地使衍射光的强度均匀化的光扩散技术。在将基本单元在第一方向上周期性地排列并使入射光向所述第一方向衍射的衍射光学元件中，设有以在所述第一方向上衍射的衍射光中的最外侧的衍射光与从外侧起的第二个衍射光之间的分离角小于所述入射光的发散角的方式设计的相位图案。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 光学 元件 使用 投影 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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