[发明专利]掩模配接器、掩模配接器安装工具、曝光装置以及元件制造方法在审
| 申请号： | 202080010606.7 | 申请日： | 2020-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN113330370A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 小宫山弘树;八田澄夫;长野智和;寺西瀬名;浅海博圭;高桥大辅;大川智之 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 王茜;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港区港南二丁目*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的掩模配接器的一形态是在对支撑于平台的掩模进行照明而将形成于所述掩模的图案曝光于基板上的曝光装置中使用且安装于所述掩模的掩模配接器，其包括：本体部，包括在形成有所述图案的区域外支撑所述掩模的支撑部、及支撑于所述平台的被支撑部；以及第一被检测部，在所述本体部上，能够利用所述曝光装置的检测部来检测，并且所述第一被检测部包含与所述掩模配接器相关的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模配接器 安装 工具 曝光 装置 以及 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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