[发明专利]标记扫描器在审
| 申请号： | 202080010812.8 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN113330148A | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 莫滕·汉尼拔·马德森 | 申请（专利权）人： | TOPSIL环球晶圆股份公司 |
| 主分类号： | C30B33/00 | 分类号： | C30B33/00;C30B35/00;G01B11/30;G01N21/00;G01B11/08;G01B11/02;G01B11/24;C30B29/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李娜娜;王新华 |
| 地址： | 丹麦腓*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种获得单晶锭的纵向取向标记的表面特性参数的方法、一种生产取向被标记的单晶锭的方法、以及一种用于执行该方法的锭扫描器系统。该方法包括围绕旋转轴线旋转单晶锭，记录在角位置处从测量点到单晶锭的表面的距离，将距离与背景形状进行比较以识别偏离背景形状的距离，以及记录偏离背景形状的距离的角位置和相应距离。表面特性参数根据具有偏离背景形状的距离的连续角位置和相应距离被限定。该方法允许确定表面特性参数，不确定性较低。 | ||
| 搜索关键词： | 标记 扫描器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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