[发明专利]微机械传感器设备和对应的制造方法在审
| 申请号： | 202080011744.7 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN113365938A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | S·平特;N·格赖纳 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出一种微机械传感器设备和一种对应的制造方法。所述微机械传感器设备配备有：衬底(10)，所述衬底具有前侧(VS)和后侧(RS)；安装在所述衬底(10)的前侧(VS)上的微机械传感器芯片(20)，所述微机械传感器芯片具有传感器区域(SB)；安装在所述衬底(10)的前侧(VS)上的封盖装置(60)，所述封盖装置至少部分地通过ASIC芯片(60)构造。所述封盖装置(60)包围所述微机械传感器芯片(20)，使得在所述微机械传感器芯片(20)的传感器区域(SB)与所述ASIC芯片(60)之间形成朝向所述衬底(10)的前侧(VS)闭合的空腔(K)。在所述封盖装置(60；60a、55；60b；60a、55‘)的上方构造有模塑封装(80)。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 传感器 设备 对应 制造 方法 | ||
【主权项】：
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