[发明专利]低损耗声装置在审
| 申请号： | 202080013122.8 | 申请日： | 2020-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN113474993A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 图奥马斯·彭萨拉;塔帕尼·马克肯 | 申请（专利权）人： | 芬兰VTT技术研究中心有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 李兰;孙志湧 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 公开了声波装置。该装置包括基板(614)、双层反射器(608)和声波谐振器(600)。双层反射器在基板上方并且包括具有第一声阻抗的第一层(610)和具有低于第一声阻抗的第二声阻抗的第二层(612)。第一层具有第一表面，该第一表面包括提供空腔(616)的顶板的浮置区域(618)。第二层在第一层的浮置区域的顶部上。声波谐振器在双层反射器的第二层的顶部上。声波谐振器包括压电层(604)、电极(602)和反电极(606)，使得在电极与反电极之间的射频电压的施加在压电层中生成声谐振波。 | ||
| 搜索关键词： | 损耗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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