[发明专利]一种结合上游和下游电流测量来推断光学元件的弯曲处的射束电流以进行实时剂量控制的方法在审
| 申请号： | 202080014126.8 | 申请日： | 2020-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN113474867A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·德卢卡;安迪·雷;尼尔·德马里奥;罗萨里奥·莫利卡 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/304 | 分类号： | H01J37/304;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 张琳;寿宁 |
| 地址： | 美国马萨诸塞州*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 离子注入系统101具有配置成形成离子束112并对其进行质量分析的离子源108和质量分析器114。弯曲元件146位于质量分析器的下游；相应的第一测量装置142和第二152测量装置分别位于弯曲元件的下游和上游，并且配置成分别确定离子束的第一离子束电流和第二离子束电流。可选地，工件扫描装置170通过离子束扫描工件。控制器130配置成确定工件处离子束的注入电流，并且可选地基于主语电流控制工件扫描设备以控制工件的扫描速度。离子束的注入电流的确定至少部分地基于第一离子束电流和第二离子束电流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结合 上游 下游 电流 测量 推断 光学 元件 弯曲 进行 实时 剂量 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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