[发明专利]微系统和制造微系统的方法在审
| 申请号： | 202080016217.5 | 申请日： | 2020-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN113474625A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | J·费尔;L·埃卡特 | 申请（专利权）人： | 派洛斯有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J5/04;G01J5/34 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 蒋乐;徐迅 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种微系统(1)，包括一衬底(12)，布置在衬底(12)上的底电极(3)，布置在底电极(3)上的铁电层(4)，布置在铁电层(4)上的顶电极(5)，和布置在顶电极(5)上的电隔离的隔离层(6)，其从顶电极(5)延伸到衬底(12)，使得隔离层(6)在围绕底电极(3)的整个圆周的区域中覆盖底电极(3)、铁电层(4)和衬底(12)，并且所述隔离层(6)具有环形形状，所述环中心限定一通孔(11)，所述通孔布置在所述顶电极(5)的区域中。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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